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真空镀膜机用途及操作方法

  真空镀膜机用途及操作方法,真空镀膜机是一种常用的镀膜机商品类型,首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜,详细包含许多品种,包含真空离子蒸腾,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射堆积等许多种。下面首要来介绍一下真空镀膜机电柜的操作方法,希望对大家有所帮助!

  一、真空镀膜机电控柜操作方法

      1。 开水泵、气源。

      2. 开总电源。

      3。 开保持泵、真空计电源,真空计档方位V1方位,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

      4。 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、发动,真空计开关换到V2方位,抽到小于2停止,约需20分钟。

      5. 查看涡轮分子泵读数抵达250以后,关予抽,开前机和高阀持续抽真空,抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头,调查真空度。真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源。

  二、真空镀膜机操作方法

      1。 总电源。

      2. 一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源:按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及维护灯亮,三分钟后延时及维护灯灭,若后门未关好或水流继电器有毛病,维护灯会常亮。

      3。 开高压,高压会到达10KV以上,调理束流可到200mA摆布,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1。2A,偏转电流在1~1。7之间摇摆。

  真空镀膜机关机次序

      1. 关高真空表头、关分子泵。

      2。 待分子泵显现到50时,顺次关高阀、前级、机械泵,这时期约需40分钟。

      3。 到50以下时,再关保持泵。


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